紫外臭氧清洗机具有数字控制系统，灯管尺寸自4x4" 至 20x20"不等。PSD的特征在于强大的栅格紫外灯，带反射罩，样品台高度可调，可以很好地进行样品定位，使清洗效果达到理想状态。4x4"或以上尺寸系统出气口双气路设计PSD紫外臭氧清洗机通过一个操作简便的预置控制器进行控制，让工作变的轻而易举。

紫外臭氧清洗机原理:通过紫外灯发出适当强度的185nm和254nm波长高能紫外线破坏有物分子(污染物)。185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(O2)分解成臭氧(O3)，而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和活性氧(O)， 254 nm紫外线同时激发表面的有机物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中，生成的活性氧原子与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应，生成挥发性气体(如CO2，CO, H2O,NO等)逸出物体表面，从而*清除粘附在物体表面上的有机污染物，达到清洗的目的。因为臭氧具有短暂的半衰期，也能被254nm紫外线破坏，Novascan紫外臭氧清洗机中采用了可调高度样品台，可以使样品正确定位以达到很好的光线照射效果。PSD和PSDP 系列紫外臭氧清洗机破坏污染物，然后释放出CO2和水蒸汽，剩余的臭氧恢复到分子氧的状态。