转瓶等离子清洗机的等离子体与材料表面如何相互作用？
更新时间：2020-05-27 点击次数：1276
转瓶等离子清洗机在实际应用中往往会使用不同的工艺气体，所产生的等离子体会含有丰富多样的活性粒子和高能量粒子，这些离子体和固体材料表面的相互作用对等离子体本身或对固体材料都有重要的意义。
转瓶等离子清洗机中的粒子将能量传递给固体材料表面，同时给等离子体带来大量的杂质。对固体材料来说，由于这些高能粒子的轰击和传递的能量，使固体材料表面发生各种物理和化学反应，所以研究等离子体和固体材料表面的作用过程，对材料表面的改性、新材料和新工艺的探索都非常有帮助。
不同转瓶等离子清洗机和各种固体材料表面的作用依赖于等离子体的物理参数、固体材料的种类、表面的结构和形态等因素，但等离子体和固体材料表面的作用仅发生在表层几到几十个纳米(的深度，因而不会损伤基体的固有性能；而且可赋予材料表面新的实用性能。
吸附和解吸附对于等离子过程是非常重要的，在很多情况下，它们中的一个或者另一个往往是表面过程的决定因素。
吸附源于入射分子与表面间的吸引力。吸附分为两种：物理吸附是源于分子与表面的弱相互作用，物理吸附是放热的，物理吸附的分子与表面的结合能非常弱，吸附后它们可以迅速地从表面进行扩散；当吸附原子或分子与表面原子形成化学键以后，便构成了化学吸附，此过程为强放热过程。
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