紫外臭氧清洗机是一种采用无接触方式，在空气中进行且在清洗后不必进行干燥。在清洗过程中主要是依靠等中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态，气相物质被吸附在固体表面，被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子，产物分子解析形成气相，反应残余物脱离表面。