等离子表面处理仪合理的选择能保证材料表面不被损伤，也能提升材料物理和化学性能，真空等离子处理仪处理材料是在真空环境下进行，不污染环境，保证样品表面不被二次污染，泄压时可以选择氮气泄压，避免空气泄压对材料的影响，市面上真空等离子处理仪有众多的品牌和型号，因此，选择合适的尤为关键，下面就选型做简单说明：

　　1.材料的大小

　　真空等离子处理是要把材料放入真空腔内进行处理，选择真空腔尺寸的参考因素是材料的大小和批处理的数量，一般科研型的真空等离子处理仪的腔体是圆柱体，容积有2L、3L、5L和10L，材料尺寸大、批处理的量多，则选用大尺寸的腔体，反之，选择小尺寸，一般选择的是直径150mm，深度200mm，容积3L的真空腔体。

　　2.材料的耐热度

　　有些型号的真空等离子处理仪清洗腔在仪器运行时，腔内温度会随着清洗时间的增加逐渐升高，不锈钢腔体真空等离子处理仪运行180秒，测出的腔体内温度是60摄氏度，运行超过10分钟，腔体温度会达到85摄氏度，石英腔体真空等离子处理仪运行180秒，测出的腔体内温度是40摄氏度，运行时间超过10分钟，腔体温度达43摄氏度。

　　等离子表面处理仪处理技术是干式处理法，替代了传统的湿法处理技术具有以下优势：

　　1.环保技术：等离子体作用过程是气固相干式反应，不消耗水资源、无须添加化学药剂；

　　2.效率高：整个工艺能在较短的时间内完成；

　　3.成本低：装置简单，容易操作维修，少量气体代替了昂贵的清洗液，同时也无处理废液成本；

　　4.处理更精细：能够深入微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务；

　　5.适用性广：等离子表面处理技术能够实现对大多数固态物质的处理，因此应用的领域非常广泛。