紫外臭氧清洗机(UV-O3清洗机)是利用紫外光和臭氧来清洗表面的设备。它在很多领域如半导体、光电子、生物医药等起着重要作用。紫外光位于可见光和X射线之间的电磁辐射波段，其波长范围约为10纳米到400纳米。紫外光具有高能量和较短的波长，可以击穿并分解分子的化学键，从而实现清洗作用。臭氧是一种具有强氧化性的气体，常用符号为O3。当臭氧与目标表面接触时，臭氧分解成氧和自由氧原子，这些原子能够与去除污染物的表面发生反应，从而清洗表面。
 

　　紫外臭氧清洗机的清洗过程：
 

　　a.加载物件：将待清洗的物件放置在清洗室中，通常采用无尘室或密闭式工作环境，以避免再次受到其他污染。
 

　　b.紫外辐照：打开紫外灯，使紫外光直接照射到物件表面。紫外光能够通过分解和氧化的方式清除有机和无机污染物。
 

　　c.臭氧注入：打开臭氧发生器，将臭氧气体引入清洗室。臭氧具有更强的氧化性，可以进一步清除难以去除的污染物。
 

　　d.清洗周期：根据需要，设定清洗的时间和紫外光和臭氧的配比。在清洗过程中，紫外光和臭氧会不断作用于物件表面。
 

　　e.排气和通风：清洗完成后，关闭紫外灯和臭氧发生器，排出清洗室中的残余臭氧和其他废气，并进行适当的通风换气。
 

　　紫外臭氧清洗机能够去除表面的有机物、杂质等污染物，具有环保的特点。其清洗效果受多个因素影响，包括清洗时间、紫外光强度、臭氧浓度、物件表面性质等。结合了紫外光和臭氧的作用，能够清洗表面污染物。其原理简单但功能强大，广泛应用于各个领域。