等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
 

　　等离子清洗机采用无线电波范用的高频产生的等离子体与激光等亢射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而凡对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果像是甚至更好；整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等体子体轰被清洗产品面。以达到清洗目的。
 

　　清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；该设备的使用使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；可避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性。
 

　　该如何判断等离子清洗机的处理效果：
 

　　1.直接观察法是简单、直观的检查方法。通过肉眼观察处理后的样品表面，可以大致判断处理效果。如果表面无明显损伤、颜色变化不大，说明处理效果较好。同时还可以观察表面是否残留有未分解的物质，如尘埃、有机物等。
 

　　2.表面粗糙度是评价等离子清洗机处理效果的一个重要指标。通过测量处理前后的表面粗糙度，可以了解清洗对表面形貌的影响。一般来说，表面粗糙度越小，说明处理后表面越平整，这有利于提高后续工艺的附着力和稳定性。
 

　　3.表面能是表征表面润湿性能的物理量。等离子清洗机处理后，如果表面能明显提高，说明处理效果较好。一般来说，可以采用接触角测量仪来测定表面能。通过测量液体在固体表面的润湿角，可以计算出表面能。表面能越高，表明表面的润湿性能越好。